术语表: MEMS
定义
是微机电系统(Micro Electronic Mechanical Systems或microelectromechanical systems)的缩写，系统由机械和电子元件组成，利用半导体制造技术制作。常见应用有：压力和加速度传感器，由传感器、放大器或调理电路组成。其他应用包括：开关、控制阀、波导等。
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